하스, EUV 검사장비용 극저열팽창 광학유리 개발…직경 260mm 대형 소재 제조

글라스 세라믹 소재 전문기업 하스가 EUV 검사장비용 극저열팽창 광학유리 개발 성과를 국책과제 총괄 워크숍에서 공개했다. 하스는 직경 260mm, 두께 150mm급 대형 소재를 제조하고 열팽창계수 0.02~0.1×10⁻⁶/K 수준의 특성을 확보했다. 이번 연구는 202... The post 하스, EUV 검사장비용 극저열팽창 광학유리 개발…직경 260mm 대형 소재 제조 appeared first on 벤처스퀘어.