PSK, 램리서치 특허 1건 추가 무효화...침해소송서 취하된 특허

[지디넷코리아]PSK(피에스케이)가 램리서치의 베벨 에처 특허 1건에 대해 추가로 무효 판단을 받았다. 해당 특허는 지난 8월 특허침해소송 변론기일에서 램리서치가 침해 주장을 철회한 특허다. 전체 분쟁에 미칠 영향은 미미하다. 베벨 에처는 웨이퍼 가장자리(베벨)에 형성된 불필요한 박막을 제거하는 장비다. PSK가 지난 2021년 베벨 에처를 개발해 SK하이닉스에 공급했다고 밝히자, 램리서치는 PSK를 상대로 특허침해소송을 제기했다. PSK는 무효분쟁으로 대응했다. 5일 업계에 따르면 특허심판원은 지난 3일 램리서치의 '프로세스 챔버에서 프로세스 제외 및 프로세스 실행의 영역들을 규정하는 장치' 특허(등록번호 1468221, 아래 '221 특허) 무효심판 환송사건에서 '221 특허가 무효라고 판단(심결)했다. '221 특허 청구항(권리범위) 4~23항이 무효라는 PSK 주장을 특허심판원이 모두 받아들였다. '221 특허가 무효라는 특허심판원 심결은 아직 최종 확정되지 않았지만, 결과가