조선대, 저전력·지능형 반도체 산화물 메모리 연구성과 발표

조선대학교(총장 김춘성)는 김남훈 전기공학과 교수와 김사라 박사 연구팀이 저전력·지능형 반도체에 활용할 수 있는 산화물 기반 차세대 메모리 소자의 동작 특성을 규명하는 연구성과를 발표했다고 9일 밝혔다. 연구팀은 산화텅스텐(WOx) 박막을 대상으로 열처리 과정에서 내부 결함이 어떻게 변화하고 분포하는지 살펴보고 이러한 변화가 박막의 전기적 특성에 어떤 영향을 미치는지 분석했다. 연구 결과, 박막 내부의 결함이 깊이에 따라 다르게 분포하며 이러한