'반도체 ALD 특허분쟁' 코쿠사이·유진테크, 특허 2건 판단 확정

[지디넷코리아]유진테크와 반도체 공정 원자층증착(ALD) 장비 특허분쟁 중인 일본 코쿠사이의 특허 2건에 대한 판단이 확정됐다. 두 업체가 다투고 있는 코쿠사이 특허는 4건이다.14일 업계에 따르면 대법원은 지난 8일 코쿠사이의 '기판 처리장치 및 반도체 장치의 제조방법'(등록번호 1037961, 아래 '961 특허) 관련 상고심 3건에서 모두 기각 판결했다. 대법원의 기각 판결로 '961 특허의 청구항(권리범위) 중 대부분 무효(일부 유효)라는 특허법원 판단이 확정됐다.앞서 지난 2024년 12월 특허심판원은 '961 특허 청구항 2~6항, 8~18항, 20항이 무효라고 판단했다. 쟁점 청구항 중 7항만 유효로 판단됐다. 이후 양측이 특허법원과 대법원에 차례로 각각 상소했지만 기각됐다. 코쿠사이는 '961 특허 청구항이 무더기로 무효가 되자 정정을 노렸지만 특허심판원, 특허법원에 이어 대법원에서도 기각됐다. 일반적으로 정정심판은 특허가 무효가 될 가능성이 있을 때 청구한다. 대법원