'코쿠사이-유진테크' 특허 1건 무효 판단 이달 나온다

[지디넷코리아]유진테크와 반도체 공정용 원자층증착(ALD) 장비를 놓고 특허분쟁 중인 코쿠사이 특허 1건에 대한 특허심판원의 유효성 판단이 이르면 이달 하순 나온다. 코쿠사이가 유진테크를 상대로 지난 2024년 특허침해소송을 제기할 때 사용한 특허 4건 중 3건에 대한 분쟁은 특허심판원 판단(심결)을 거쳐 특허법원과 대법원 등에서 이어지고 있는데, 나머지 1건에 대해선 아직 특허심판원 판단도 나오지 않았다. 코쿠사이가 해당 특허를 4차례 정정했기 때문이다. 특허권자는 특허가 무효가 될 가능성이 있을 때 정정한다. 특허심판원 심결을 기다리는 코쿠사이 특허는 '기판 처리장치, 반도체 장치의 제조방법, 플라스마 생성부, 프로그램, 플라스마 생성방법, 전극 및 반응관'(등록번호 2149644, 아래 '644 특허)이다. 특허심판원 심판부는 2일 열린 '644 특허 무효심판 구술심리에서 "구술심리를 종결하고, 새로운 주장이 없으면 7월 말이나 8월 초 심결하겠다"고 밝혔다. 추후 의견서 제출