'유진테크와 특허분쟁' 코쿠사이, 특허 1건 유효 판단...'정정 4번' 권리범위↓

[지디넷코리아]유진테크와 반도체 공정용 원자층증착(ALD) 장비 특허분쟁 중인 일본 코쿠사이가 특허 1건에 대해 유효라는 판단을 받았다. 쟁점 특허 4건 중 특허심판원 판단이 나오지 않은 마지막 특허였다. 하지만 이 특허는 4차례 정정으로 권리범위가 좁혀졌기 때문에, 코쿠사이가 유진테크의 특허침해를 입증하기 쉽지 않을 것으로 예상된다.특허심판원은 지난 22일 코쿠사이의 특허 '기판 처리장치, 반도체 장치의 제조방법, 플라스마 생성부, 프로그램, 플라스마 생성방법, 전극 및 반응관'(등록번호 2149644, 아래 '644 특허) 무효심판에서 유진테크 청구에 대해 '일부기각·일부각하' 심결했다. 유진테크 청구를 모두 받아들이지 않은 것으로, 특허심판원은 '644 특허가 유효라고 판단했다. 하지만 코쿠사이의 '644 특허는 권리범위가 좁혀졌다. 코쿠사이가 '644 특허 무효심판 과정에서 특허를 4차례 정정했기 때문이다. 일반적으로 정정심판은 특허가 무효가 될 가능성이 있을 때 특허권자가