반도체 식각분쟁...월덱스 "상부전극-기판 관계 불분명" vs. 램리서치 "비교발명과 달라"

[지디넷코리아]반도체 식각장비 상부 전극을 놓고 램리서치와 특허분쟁 중인 월덱스가 "(램리서치가 특허에서 기술한) 상부 전극과 기판 사이 상관관계가 불분명하다"고 주장했다. 청구항(권리범위) 내용이 명확하지 않아 특허성을 인정하기 어렵다는 주장이다. 램리서치는 월덱스가 특허 무효 증거로 제시한 비교발명과 자사 특허는 다르다고 맞섰다. 15일 특허심판원에서 열린 특허무효심판 첫 번째 구술심리에서 양측은 이처럼 주장했다. 쟁점 특허는 램리서치의 '플라즈마 프로세싱을 위한 가변하는 두께를 갖는 상부 전극’(등록번호 2556016, 아래 '016 특허)이다. '016 특허는 웨이퍼를 식각할 때 플라스마가 중앙에만 뭉치지 않고 웨이퍼 전체에 균일하게 퍼지도록 상부 전극 아랫면 형태를 위치별로 다르게 설계하는 기술이다. 상부 전극 아랫면의 중앙은 볼록하고(두껍고), 바깥으로 갈수록 오목하게 파여 있으며, 가장자리(에지)는 다시 볼록하게 처리돼 전체적으로 'M'자 형태 단면 구조다. 이는 상부