“반도체 결함, 초음파로 찾는다” DGIST, 반도체 공정 활용해 초소형 광초음파 센서 세계 최초 개발

국내 연구팀이 반도체나 이차전지 내부 결함을 찾아내는 비파괴검사 혁신 기술을 개발했다. 디지스트(DGIST·총장 이건우)는 로봇및기계전자공학과 한상윤·유재석 교수 공동 연구팀이 반도체 제조 공정을 활용해 머리카락 굵기보다 작은 초소형 광(光) 초음파 센서를 세계 최초로 개발했다고 1일 밝혔다. 이 센서는 대상 물체에 직접 닿지 않고 공기를 통해 전달되는 메가헤르츠(㎒)급 초음파를 정밀하게 잡아낼 수 있어 비파괴검사 기술에 혁신을 몰고 것이란