램리서치-PSK 특허소송 쟁점특허 1건으로 압축...램리서치, 1건 취하

[지디넷코리아]램리서치와 PSK의 베벨 에처 특허침해소송에서 쟁점 특허가 1건으로 압축됐다. 램리서치는 정정에 실패한 특허 1건에 대한 침해 주장을 철회했다.베벨 에처는 웨이퍼 가장자리(베벨)에 형성된 불필요한 박막을 제거하는 장비다. PSK가 지난 2021년 베벨 에처를 개발해 SK하이닉스에 공급했다고 밝히자, 램리서치는 PSK를 상대로 특허침해소송을 제기했다. PSK는 대응 차원에서 특허무효분쟁을 시작했다. 13일 서울중앙지방법원에서 열린 특허침해소송 변론기일에서 원고 램리서치는 자사 특허 '프로세스 챔버에서 프로세스 제외 및 프로세스 실행의 영역들을 규정하는 장치'(등록번호 1468221, 아래 '221 특허) 관련 침해 주장을 취하하겠다고 밝혔다.앞서 램리서치는 지난 2024년 8월 특허법원 판결로 '221 특허가 무효가 될 가능성이 커지자, 다음달(2024년 9월) 특허심판원에 정정심판을 청구했지만 지난 3일 기각됐다. 정정심판은 특허가 무효가 될 가능성이 클 때 특허권자가