삼성전자·TSMC·ASML, 12인치 포토마스크 도입 '맞손'

삼성전자 TSMC ASML이 12인치 포토마스크 상용화를 위해 손을 잡았다. TSMC는 반도체 위탁생산(파운드리)에 삼성전자는 D램에 12인치 포토마스크를 적용할 전망이다. ASML은 인텔에 이어 TSMC와 삼성전자를 우군으로 확보했다.8일 삼성전자 TSMC ASML은 '대형 마스크 컨소시엄'을 구성한다고 밝혔다.대형 마스크 컨소시엄은 현재 반도체 노광 설비에 들어가는 포토마스크를 6인치에서 12인치로 전환하는 것이 목적이다. 포토마스크는 미세 회로 패턴을 새긴 정밀 마스크(틀)다. 빛으로 웨이퍼에 반도체 회로를 새길 때 이용한다.