에코프로에이치엔, 삼성E&A에 반도체 공정 RCS 공급…330억 규모

[지디넷코리아]에코프로에이치엔이 삼성E&A에 중앙식 온실가스 저감 시스템(RCS)을 공급한다. 이번 계약은 330억원 규모로, 공급된 설비는 국내 반도체사에 도입될 예정이다.에코프로에이치엔은 삼성E&A와 RCS 공급 계약을 체결했다고 27일 공시했다.RCS는 반도체 공정에서 발생하는 과불화화합물(PFCs)을 처리하는 대용량 온실가스 저감 시스템이다. PFCs는 CO2 대비 수천~수만 배 이상 높은 지구온난화지수(GWP)를 지니고 있어, 반도체 제조 현장에서 반드시 해결해야 할 핵심 환경 과제로 꼽힌다.기존의 열분해 처리 시스템은 온실가스 저감을 위해 1300~1400℃ 수준의 초고온 공정이 필요했지만, 에코프로에이치엔의 RCS는 약 750~800℃ 수준에서 온실가스를 분해할 수 있다. 에너지 사용량을 약 95% 절감하면서도 효율이 높다는 설명이다.에코프로에이치엔은 국내 반도체사의 글로벌 생산거점 투자 확대 흐름에 맞춰, 북미를 비롯한 해외 반도체 기업으로 고객사를 다변화하며 글로벌