넥썸, 반도체 냉각유체 관리에서 정밀 온도제어 장비까지

반도체 제조설비의 온도를 제어하는 칠러(Chiller)는 내부를 순환하는 냉각유체의 상태에 따라 성능과 운전 안정성이 달라질 수 있다. 유체에 수분이나 오염물질이 유입되면 저온에서 결빙이 발생하거나 장비 부품이 손상될 위험이 있다. 특히 반도체 공정에 사용하는 특수 냉... The post 넥썸, 반도체 냉각유체 관리에서 정밀 온도제어 장비까지 appeared first on 벤처스퀘어.