티씨케이, 반도체 식각 SiC 포커스링 특허 정정...디에스테크노 상대 분쟁

[지디넷코리아]반도체 소재·부품업체 티씨케이가 실리콘카바이드(SiC) 포커스링 특허 1건을 정정했다. 일반적으로 특허 무효화 가능성이 있을 때 특허권자는 특허 권리범위를 좁혀 정정한다. SiC 포커스링은 반도체 식각 공정에 사용하는 소모성 부품이다.티씨케이는 지난 2019년 디에스테크노를 상대로 서울중앙지방법원에 특허침해소송을 제기했다. 디에스테크노는 대응 차원에서 티씨케이 특허 4건을 상대로 특허심판원에 여러 심판을 청구했다. 특허 3건에 대한 특허성 판단은 끝났고, 나머지 특허 1건 특허성 판단은 진행 중이다. 10일 업계에 따르면 특허심판원은 지난 7일 티씨케이의 '화학기상증착(CVD) 방식으로 형성된 SiC 구조체' 특허(등록번호 2117888, 아래 '888 특허) 정정 청구를 받아들였다. 일반적으로 특허가 정정되면 권리범위가 좁아지기 때문에 향후 분쟁에서 특허가 살아남을 가능성은 커지지만, 특허 침해를 입증하기는 어려워진다. 디에스테크노는 티씨케이의 '888 특허가 무효