브룩스, 반도체 공장 밀도 높이는 클린룸 로봇 공개

브룩스 오토메이션이 반도체 공장의 공간 효율을 높여야 한다고 강조하면서, 이를 실현하는 새 클린룸 로봇을 선보였다. 데이브 자르진카 브룩스 오토메이션 사장은 세미콘 웨스트 2026 CEO 서밋에서 “웨이퍼는 실제 공정 챔버에 있는 시간이 전체의 25~30%에 불과하고, 나머지는 대부분 이동·대기에 쓰인다”며 “다음 10년의 스케일링은 웨이퍼 레벨만이 아니라 공장 전체에서 일어날 것, 같은 공간에서 더 많은 좋은 웨이퍼를 뽑아내는 '공장 밀도'가